真空镀的应用

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目前水电镀在重工业上应用较多(汽车等),而真空电镀则广泛应用于家用电器、化妆品包装。

如果真空电镀的硬度能达到水电镀的等级,那么水电镀将要消失了。

目前很多手机上的金属外观件,都采用PVD真空离子镀,不仅能够提供漂亮的颜色而且耐磨性很好。不过比较贵,成本较高。

溅射镀:磁控溅射镀膜设备:

磁控溅射镀膜设备是一种多功能、高效率的镀膜设备。可根据用户要求配

置旋转磁控靶、中频孪生溅射靶、非平衡磁控溅射靶、直流脉冲叠加式偏压电源等,

组态灵活、用途广泛,主要用于金属或非金属(塑料、玻璃、陶瓷等)的工件镀铝、

铜、铬、钛金、银及不锈钢等金属膜或非金属膜及渗金属DLC膜,所镀膜层均匀、

致密、附着力强等特点,可广泛用于家用电器、钟表、工艺美术品、玩具、车灯

反光罩以及仪器仪表等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。

a旋转磁控溅射镀膜机;旋转磁控溅射镀膜技术,是国内外最先进的磁控溅射镀膜技术,靶材利用率达到70~80%

以上,基体镀膜均匀,色泽一致。

b平面磁控溅射镀膜机;

c中频磁控溅射镀膜机;

d射频磁控溅射镀膜机。

可以在金属或非金属(塑料、玻璃、陶瓷)的工件镀金属铝、铜、钛金、锆、银、不锈钢及金属反应物(氧化

物、氮化物、炭化物)、半导体金属及反应物。所镀膜层均匀、致密、附著力好等特点。

一、 单室/双室/多室磁控溅射镀膜机

该镀膜机主要用於各种灯饰、家电、锺表、玩具以及美术工艺等行业,在金属或非金属(塑料、玻璃、陶瓷)等

制品镀制铝、铜、铬、钛、锆、不锈钢等系列装饰性膜层。

技术指标:

真空室尺寸:可以根据用户的要求设计成单室或双室或多室

极限压力:8×10-4Pa

恢复真空度时间:空载 从大气至 5 × 10-2Pa ≤ 3或8min(根据用户要求定)

工作真空度:10~1.0× 10-1Pa

工艺气体进入装置:质量流量控制器(可选配自动压强控制仪)

转动工件架形式:公 / 自转工件架

溅射源:矩形平面溅射源(1~4个)/柱状溅射源(1个)/混合溅射源

可以选配:基片烘烤装置;反溅射清洗

二、单室/双室/多室磁控反应溅射镀膜机

该镀膜机主要用於太阳能吸热管所需要的镀膜涂层(如Al—N/Al或Cu—C/1Cr18Ni9Ti);高级轿车後视镜镀膜

(蓝玻);装饰仿金、七彩镀膜;透明导电膜(ITO膜);保护膜。

技术指标:

真空室尺寸:可以根据用户的要求设计成单室或双室或多室

极限压力:8×10-4Pa

恢复真空度时间:空载 从大气至 5 × 10-2Pa ≤ 15min(根据用户要求定)

工作真空度:10~1.0× 10-1Pa

工艺气体进入装置:质量流量控制器(可选配自动压强控制仪)

工作气路:2路或3路

转动工件架形式:公 / 自转工件架

溅射源:矩形平面溅射源(1~4个)/柱状溅射源(1个)/混合溅射源

三、多功能镀膜机

设备基本配置:

真空室

工件转动系统

真空抽气系统

工作气体供气系统

溅射系统:平面溅射/柱状溅射/中频溅射/射频溅射系统

动系统

控制系统

冷却系统

技术指标:

真空室尺寸:φ600×800 φ850×1000 φ1000×1200 φ1100×1500 可以根据用户的要求设计成箱式

极限压力:8×10-4Pa

恢复真空度时间:空载 从大气至 5 × 10-2Pa ≤ 15min(根据用户要求定)

工作真空度:10~1.0× 10-1Pa

工艺气体进入装置:质量流量控制器(可选配自动压强控制仪)

工作气路:2路或4路

转动工件架形式:公 / 自转工件架

溅射源:矩形平面溅射源(1~4个)/柱状溅射源(1个)/中频溅射源/射频溅射源/混合溅射源

用途:本设备应用磁控溅射原理,在真空环境下,在玻璃、陶瓷等非金属;半导体;金属基体上制备各种金属膜、合

金膜、反应化合物膜、介质膜等等。

四、实验系列磁控溅射镀膜机

技术指标:

真空室:φ450×400

极限压力:5×10-5Pa

工作压力:1~1.0× 10-2Pa

真空系统主泵:涡轮分子泵

阴极靶数量:2~5个

工作气体控制:质量流量控制器,自动压强控制仪

工作气路:2路或4路

靶电源:直流磁控溅射源(10000W),

中频电源(10000W),

射频电源(2000W)。

工件转动:行星式公自转

工件负偏压:/

性能特点:磁控靶数量多,靶材种类变化大,各种参数变化范围大,所镀制膜层有金属、合金、化合物,可镀制单

层或多层膜。

五、中频磁控溅射镀膜机

中频磁控溅射镀膜技术是磁控技术另一新里程碑,是镀制化合物(氧化物、氮化物、碳化物)系膜的理想设备,

彻底克服了靶打弧和中毒现象,并具溅射速率快、沈积速率高等优点,适合镀制铟锡合金(ITO)、氧化铝(AL2O3)

、二氧化硅(SiO2)、氧化钛(TiO2)、氧化锆(ZrO2)、氮化硅(Si3N4)等,配置多个靶及膜厚仪,可镀制多种多

层膜或合金膜层。

六、射频磁控溅射镀膜机

具有溅射速率高,能镀任何材料(导体、半导体和介质材料)。在低气压下等离子体放电,膜层致密,针孔少。

主要技术参数

真空室尺寸:F500´450(mm)

极限真空度:优於4´10- 4 Pa (3´10- 6Torr)

溅 射 靶: F 100mm磁控溅射源三只溅

射功率: 直流5千瓦,射频2千瓦

关于“真空镀的应用”这个话题的介绍,今天小编就给大家分享完了,如果对你有所帮助请保持对本站的关注!

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评论列表(3条)

  • 寄山少爷的头像
    寄山少爷 2025年09月11日

    我是拾光号的签约作者“寄山少爷”

  • 寄山少爷
    寄山少爷 2025年09月11日

    本文概览:网上有关“真空镀的应用”话题很是火热,小编也是针对真空镀的应用寻找了一些与之相关的一些信息进行分析,如果能碰巧解决你现在面临的问题,希望能够帮助到您。目前水电镀在重工业上应用较...

  • 寄山少爷
    用户091104 2025年09月11日

    文章不错《真空镀的应用》内容很有帮助